20世紀科學技術的發展為全面革新露點技術奠定了基礎。在Regnault露點儀的基礎上，人們對制冷方法、鏡面溫度的測量、露的檢測技術和冷鏡材料等進行了不斷的改進，并對露層的結構、機理及光電性質進行了初步探討，把露點濕度計的性能和測量準確度提高到一個新的水平。到20世紀50年代末期，采用熱電制冷、自動跟蹤和測量露點的全自動光電露點儀開始發展起來，其后又出現了檢測露層的其他手段，80年代聲表面波(SAW)露點儀問世。露點儀的發展過程主要集中在下面四個問題上。
①制冷方法，即結露表面(鏡面)的降溫方法。
②露點的測量方法。
③露的檢測方法和鏡面溫度的控制技術。