XRF分析的精密度和重現性很高。若有合適的標準,分析的準確度非常高,當然沒有標準時也可以分析。測量時間取決于待測的元素數目和要求的精度,在幾秒至30分鐘間變動。測量后的數據處理時間只需幾秒鐘。圖1顯示用EDXRF測得油的土壤樣品一組典型的光譜圖。圖中峰的輪廓清晰可見。峰的位置確定樣品存在的元素,峰的高度確定元素的濃度。