a. EDS 與XPS 的相同點:兩者均可以用于元素的定性和定量檢測。
b. EDS 與XPS 的不同點:
1) 基本原理不一樣:簡單來說,XPS 是用X 射線打出電子,檢測的是電子;EDS 則是用電子打出X 射線,檢測的是X 射線。
2) EDS 只能檢測元素的組成與含量,不能測定元素的價態,且EDX 的檢測限較高(含量>2%),即其靈敏度較低。而XPS 既可以測定表面元素和含量,又可以測定表其價態。XPS 的靈敏度更高,最低檢測濃度>0.1%。
3) 用法不一樣:EDS 常與SEM,TEM 聯用,可以對樣品進行點掃,線掃,面掃等,能夠比較方便地知道樣品的表面(和SEM 聯用)或者體相(和TEM 聯用)的元素分布情況;而XPS 則一般獨立使用,對樣品表面信息進行檢測,可以判定元素的組成,化學態,分子結構信息等。
備注:EDS 或EDX 指能量色散X 射線光譜儀,全稱為Energy Dispersive X-ray Spectroscopy。