X射線光電子能譜（XPS）也被稱作化學分析電子能譜（ESCA）。該方法首先是在六十年代由瑞典科學家K.Siebabn 教授發展起來的。這種能譜最初是被用來進行化學元素的定性分析，現在已發展為表面元素定性、半定量分析及元素化學價態分析的重要手段。此外，配合離子束剝離技術和變角XPS技術，還可以進行薄膜材料的深度分析和界面分析。
因此，XPS方法可廣泛應用于化學化工，材料，機械，電子材料等領域。
