美國Microsense位移傳感器提供高穩定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測量方案,用于測量硬盤驅動馬達,氣動軸承轉子,X-Y樣品臺準確度,光盤,汽車零部件和機床等測量。
美國Microsense位移傳感器特點:
1、高準確性,高靈敏性測量,高精度可達0.5nm。
2、優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米。
3、完全非接觸式電容式微位移測量準確的電子感應技術,無損樣品測量。
4、可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響。
5、用途廣泛:金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial,
Radial,Spindle
runout),精密儀器工作平臺定位,設備自動聚焦測量(微影設備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認,LCD生產設備…)