EDS能分析表面的元素組成嗎

X射線能量分散譜儀（簡稱能譜儀或EDS）
能譜儀可應用于微區成分分析和樣品中元素的點分析、線分析、面分析。能譜儀與波譜儀類似，也有點分析、線分析、面分析三種分析方式，作用與波譜儀類似，但分析速度比波譜儀快的多，其缺點是其分辨率較波譜儀稍差，常有相鄰譜峰的重疊現象，使元素分析發生困難。