儀器
利用運動離子在電場和磁場中偏轉原理設計的儀器稱為質譜計或質譜儀。
前者指用電子學方法檢測離子，而后者指離子被聚焦在照相底板上進行檢測。質譜法的儀器種類較多,根據使用范圍,可分為無機質譜儀和有機質譜計。常用的有機質譜計有單聚焦質譜計、雙聚焦質譜計和四極矩質譜計。目前后兩種用得較多，而且多與氣相色譜儀和電子計算機聯用。
高真空系統
質譜計必須在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的閥泵系統，一般由前級泵
（常用機械泵）和油擴散泵或分子渦輪泵等組成。擴散泵能使離子源保持在10～10毫米汞柱的真空度。有時在分析器中還有一只擴散泵，能維持10～10毫米汞柱的真空度。