精密度和準確度
精密度（或稱精度）定義為在規定條件下所獲得的獨立測量結果之間的一致程度。單次進樣測量結果的標準偏差稱為內精度；重復進樣測量結果的標準偏差稱為外精度。內精度主要反映儀器性能，外精度由儀器性能和施加的測量條件決定。外精度通常大于內精度。
準確度指測量結果與被測量真值或約定真值間的一致程度。
隨著真空、材料、電子學及計算機技術的快速發展，越來越多的新技術被用在質譜儀器上，使得質譜儀的各項性能指標都取得了顯著提高。提供的測試數據在國民經濟運行過程中發揮著不可替代作用。今大，尤其是一些新方法在新一代的質譜儀上得以實現，如原位微區分析方法，對解決地礦、環境、生化、核裂變產物和宇宙空間的稀有樣品分析具有更加特殊的意義。
在現在分析領域中，質譜儀器有著不可替代的作用。但由于其結構復雜，儀器制造成本高，同樣限制了它的使用范圍。因此發展小型及便攜的質譜儀器和發展有更高性能指標的大型質譜儀器同樣重要。