利用原子受質子激發后產生的特征 X射線的能量和強度來進行物質定性和定量分析的方法。簡稱質子 X射線熒光分析，英文縮寫為PIXE。質子X 射線熒光分析是20 世紀70 年代發展起來的一種多元素微量分析技術，其分析靈敏度可達10-16 克，相對靈敏度可達10-6～10-7 克/克。原則上可分析原子序數大于13 的各種元素。80 年代前期，可實際測定的元素有：自鋁至鈰（氬、氪、氙、锝、鈀和碲除外）、自鉭至鉍（錸、鋨、銥除外）、釷和鈾，有的設備還可分析鎂和硼，共可測52 種元素。
