簡介電感耦合等離子體發射光譜儀的性能指標

　　·分光器分辨率：Hg 313.183 半峰寬 ≤ 0.009nm Hg 194.163 半峰寬 ≤ 0.007nm

　　·波長重復性：波長重復性 ≤ 0.005nm

　　·波長示值誤差：±0.03nm

　　·光源功率穩定性 ＜ 0.1%

　　·光源頻率穩定性 ＜ 0.01%

　　·重復性或精密度（國標 A 級）：RSD ≤ 1.5%

　　·儀器穩定性（國標 A 級）：重復性 ≤ 2.0%