1. 高效過濾器。在干熱滅菌器中，進風應通過高效過濾器，除去內部空氣循環系統中產生的塵埃物質需要高效過濾器，防止排風倒流的污染也可裝高效過濾器。
2. 運行連鎖控制系統。干熱滅菌器中連鎖控制系統設有：門連鎖控制系統；壓力傳感器；溫度傳感、控制、停止傳送帶運行的連鎖控制裝置等，以保證在任何情況下出現溫度低于設計要求時防止滅菌物品在低于滅菌溫度的情況下通過滅菌器。
3. 傳送帶(僅適用于連續法)。傳送帶的速度，在連續傳送干熱滅菌系統中是十分重要的滅菌效果影響因素。
4. 溫度控制器及記錄儀。在干熱滅菌系統中，溫度探測、傳感、控制、記錄系統是整個滅菌過程控制的基礎，其控制系統必須能保證滅菌器的腔室內滅菌溫度可以保持在設定的滅菌溫度范圍內，其記錄系統必須將溫度探測、傳感系統的溫度讀數準確無誤地記錄清楚。
5. 風機。對干熱滅菌器中的氣流循環影響很大，風機的風量應該可以測量，并可調整。
6. 加熱器。它是干熱滅菌器的主要組成部分，對滅菌效果的好壞影響極大。
7. 緩沖板、風閥、氣流調節器或空氣檔板。緩沖板或空氣檔板用于控制干熱滅菌器的空氣流量，多安裝于進風或排風風管或加熱器附近，用于正壓控制的氣流調節器可以安裝排風系統中的防止倒流風污染的高效過濾器附近，通過控制排風量控制正壓，也可以用氣流調節器控制進風和排風風量以保持正壓。