等離子體原子發射光譜儀優點：
1. 多元素同時檢出能力。
可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2. 分析速度快。
試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用等離子體原子發射光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3. 選擇性好。
由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難，而對AES來說是毫無困難之舉。
4. 檢出限低。
一般可達0.1～1ug·g－1，值可達10－8～10－9g。用電感耦合等離子體（ICP）新光源，檢出限可低至 數量級。
5. 用ICP光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可達4～6個數量級。可同時測定高、中、低含量的不同元素。因此ICP－AES已廣泛應用于各個領域之中。
6. 樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出獨特的優勢。