電容式傳感器是將被測量(如尺寸、壓力等)的變化轉換成電容變化量的一種傳感器。實際上，電容傳感器本身(或和被測物》就是一個可變電容器。電容式傳感器具有一系列突出的優點，如結構簡單，體積小，適應性強，溫度穩定性好，動態響應好，可以實現非接觸測量，其有平均效應等。
1、溫度穩定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，僅取決于電極的幾何尺寸，且空氣等介質損耗很小，其他因素影響甚微(因本身發熱極小)。而電阻式傳感器有電阻，工作時會產生大量熱量，不僅損失能量，而且造成元件發熱，縮短了使用壽命。
2、結構簡單，適應性強
電容式傳感器結構簡單，易于制造，能在高低退、強輻射及強磁場等各種惡劣的環境條件下工作，適應能力強，尤其可以承受很大的溫度變化，在高壓力、高沖擊、過載等悄況下都能正常工作，能測超大量的高壓和低壓差，能對帶進工件進行測量。此外，為實現某些特殊要求的測量還可以把傳感器的體積做得很小。
3、動態響應好
電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頗率下工作，特別適合動態測量。又由于其介質損耗小，可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高，可用于測量高速變化的參數，如測量振動、瞬時壓力等。
4、可以實現非接觸測量，具有平均效應
當被測件不允許接觸測量時，電容式傳感器可以進行非接觸測量。這種情況下，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
電容式傳感器除上述優點之外，還因帶電極板間的靜電引力極小，因此所需輸入能量極小，特別適宜低能量輸入的測量，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受。