瑞士CSM超納米壓痕儀技術參數

UNHT型超納米壓痕測試儀是市場上現有的zui精準的納米與超納米尺度動態壓痕測試儀器。在小尺度蠕變、軟材料、生物材料、超薄膜、弛豫、彈性體等應用領域性能尤為突出。
正弦加載壓入模式（Sinus 態機械分析模式）
正線加載入模式可以通過其動態的測量過程給出材料更為完整的力學信息，例如材料的粘彈性。這種加載模式可以給出材料硬度、彈性模量、存儲模量和損失模量等信息隨壓入深度的連續分布曲線。

技術參數：

zui小有效加載載荷： ?25uN
zui大有效加載載荷 ?100mN
有效載荷分辨率 ?1nN
zui小接觸力 ?100nN
zui大壓痕深度 ?100um
位移分辨率 ?0.0003nm
位移信號噪聲水平 ?0.03nm
位移信號穩定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
加載模式 高精度壓電驅動加載
位移測量  電容傳感器
符合ISO 14577-1，2，3國際標準
加載模式：
線性加載，連續加載卸載，二次項加載，恒應變速率加載，位移控制加載
正弦加載（DMA模式）：
能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續函數分布；
能夠測量材料的儲存模量、損耗模量和阻尼
能夠在壓入過程中通過反饋系統保持恒定的簡諧位移振幅。
簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz

XY 工作臺： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm (OPX+)
XY 工作臺位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm (選件)
光學顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
光學顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*

主要特點：
主動參比測量設計實時扣除熱漂移等偽位移信號 
超低熱漂移
深度與載荷信號的電容傳感器測量
雙壓電加載裝置（更加可靠的設計）
雙載荷傳感器（閉環力反饋系統）
符合國際標準ISO 和 ASTM
集成自動光學測量系統
帶有反饋系統的載荷加載裝置
儀器操作系統軟件包

可擴展選項
真空或濕度環境控制
原子力顯微鏡
高分辨率工作臺 (精度0.25微米)
高分辨率CCD光學顯微鏡
環境保護罩