公元1600年，伽利略研制出氣體溫度計。一百年后，研制成究竟溫度計和水銀溫度計。隨著現代工業技術發展的需要，相繼研制出金屬絲電阻、溫差電動勢元件、雙金屬式溫度傳感器。1950年以后，相繼研發制成半導體熱敏電阻器。最近，隨著原材料、加工技術的飛速發展、又陸續研制出各種類型的溫度傳感器。
