MEMS傳感器的研發總會使人興奮，但與此同時也會面臨著很大的壓力。當研發一種新的MEMS傳感器制造工藝時，最初的幾片晶圓通常不會量產可工作的器件。根據工藝的復雜性和創新性，將需要幾個星期、幾個月甚至幾年的時間去得到為數不多的好芯片。
您可能會問自己這樣一個問題：怎樣才能使MEMS傳感器工藝研發進度更加高效呢？花點時間和精力去仔細檢查所有工藝步驟。聽起來似乎很簡單，但往往檢查部分是被忽略的。
在某些情況下，即使在所有結構都是錯誤的情況下人們還在繼續處理晶圓。同樣，您可能認為已經制造出能工作的器件，但是經過切片、膠合、鍵合后，發現沒有一個芯片能正常工作。
在一臺光學顯微鏡下，許多制造步驟都可以簡單地被觀察，通常只需要幾分鐘來幫助確定MEMS傳感器制造問題。然而，最難的是顯微鏡也不能幫助確定的問題。
不精確的MEMS傳感器結構層厚
許多工藝方法（如物理氣相沉積法、化學氣相沉積法或電鍍法）都會依賴沉積材料來構建機械結構或電子元件，而光學顯微鏡看不到的材料層的厚度對于性能影響相當重要。
常見的檢查方法/設備:
輪廓儀
橢圓儀
切割晶圓，通過掃描電子顯微鏡觀察（破壞性的測試）
基于探針的微機械測試
西南林業大學教學科研重大設備更新項目發布，預計2026年2月采購，預算金額15467萬元。該項目旨在構建“三平臺一網絡”體系：林業工程材料檢測平臺、林學生態監測平臺、智能分析共享平臺、區域服務網絡通過......
近日，海關總署陸續發布2025年顯微鏡三批次集中采購項目的中標結果，浩視、京百卓顯、Nexcope、奧林巴斯四家企業中標。2025年，海關總署集采的顯微鏡項目共分三批次、三個標項開展招標工作。此次中標......
RESEARCHPROGRESS2025年11月29日，北京腦科學與類腦研究所吳江來實驗室在NatureCommunications上發表題為High-throughputtwo-photonvolu......
公告內容為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將本單位2025年10月至2025年11月采購意向公開如下：序號采購項......
......
——徠卡中高端顯微鏡本土化交付慶典訪談2025年8月29日，上海浦東金橋工業區的徠卡金橋工廠洋溢著熱烈的氛圍。徠卡顯微系統（上海）貿易有限公司（以下簡稱“徠卡”）隆重舉辦“創升中國顯微新境”——DM4......
●蔡司蘇州研發制造基地開業一周年，持續推動本土創新和智能制造，現已成為蔡司全球顯微鏡業務的戰略樞紐。● 三款高端顯微鏡產品——蔡司激光共聚焦顯微鏡LSM910，蔡司場發射掃描電子顯微鏡Sig......
2025年8月29日，徠卡顯微系統（上海）貿易有限公司（以下簡稱“徠卡”）在上海金橋工廠舉行中高端顯微鏡本土化交付慶典，首批國產DM4/6/i8顯微鏡正式下線。近百位專家、學者及政府領導齊聚一堂，共同......
zycgr210713012025年8至12月政府采購意向為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將zycgr2107......
浙江豪圣建設項目管理有限公司受西湖大學的委托，就所需的冷凍雙束顯微鏡等5套設備（臨床醫學研究中心超長期國債項目）進行公開招標，歡迎符合條件的單位前來投標。具體如下：一、項目編號：WLU-HW-GK-W......