掃描電鏡SEM與電子探針EPMA對比總結

一、EPMA相對于SEM，(平臺方面)：

1.可以大束流，計數率與束流成正比；

2.束流控制和穩定性更好；

3.EPMA有光學顯微鏡控制樣品高度。

二、EPMA(WDS)與EDS，(EPMA標配WDS，SEM選配EDS)：

1.EPMA分辨率比EDS高一個數量級；

2.EPMA的靈敏度優于EDS，測試微量元素時效果更好；

3.EPMA檢出限更低；

4.EPMA是有標測試，精度高。

三、EPMA與SEM+WDS，(SEM選配WDS，與EPMA標配WDS)：

1.WDS(SEM)是單通道，1個檢測器配4個分光晶體，測試時旋轉晶體。EPMA可以5個通道5個檢測器同時測試，效率更高；

2.單通道時，方位受限；

3.由于SEM的小束流，靈敏度低，低含量元素測試受限；

4.EPMA檢測限更低；

5.SEM+WDS低倍測試不能（最低40X左右），EPMA可分性區域更大（樣品臺掃描）。

四、SEM+EDS優勢：

1.更好的電子圖像質量（二次電子分辨率、銳度方面等更好）；

2.SEM+EDS更快速的半定量解析；

3.分析過程更簡單一些。