掃描電鏡之背散射電子

背散射電子是指入射電子與樣品相互作用(彈性和非彈性散射)之后，再次逸出樣品表面 的高能電子，其能量接近于入射電子能量( E。)。背射電子的產額隨樣品的原子序數增大而 增加，所以背散射電子信號的強度與樣品的化學組成有關，即與組成樣品的各元素平均。背散射電子與二次電子的信號強度與 Z 的關系 子序數有關。用背散射電子像可以觀察未腐 蝕樣品的拋光面元素分布或相分布，并可確定元素定性、定量分析點。背射電子的強度還與樣品中的晶面取向及入射電子的入射方向有關。利用這種特性可以 觀察單晶和大晶體顆粒的生長臺階和生長條紋。生長臺階和生長條紋的高差一般都很小，但 背射電子像已有明顯襯度。如果用二 次電子像觀察這類易產生污染的材料，不但臺階襯度小，而且圖像出現許多污染斑。