微量氧分析儀的種類：主要有三種原理： 氧化鋯氧分析儀、 燃料電池式氧分析儀、電化學式氧分析儀。電化學式氧分析儀是在工業在線微量氧分析普遍選擇的產品。
需要注意的是他們的測量范圍不太一樣。氧化鋯氧分析儀測量范圍10ppm~100%。當氧的含量低于10ppm的時候，它的數據偏差就比較大了；燃料電池式氧分析儀測量范圍1ppm~25%，被測氣體中如果含有酸性物質的話，很容易讓這個燃料電池傳感器中毒失效，這是他的最大的一個不足之處。
電化學式氧分析儀測量范圍1ppb～25%，電化學式氧分析儀對于酸性氣體成分有一定的抗干擾能力，如果要測量10ppm以下，甚至到ppb數量級的這個氧含量時，電化學式氧分析儀是普遍選擇。
電化學式傳感器具有獨特的優勢，其他的傳感器都不能滿足測量1ppm以下的工況環境，國家GB6285規定了氣體微量氧的測定需要用電化學方法，雖然價格是偏高了些，但是電化學式氧分析儀應該是在工業在線微量氧分析普遍選擇的產品。