徠卡體視倒置顯微鏡分辨率

徠卡體視倒置顯微鏡的分辨率：能觀察100埃左右的細節。景深長、視場大，圖象特別富有立體感，看上去很真實。放大倍數的范圍寬并能很方便地調節。圖像在高倍數下也很清晰。樣品制備簡單，一般導電的固體樣品可以直接觀察，對非導電的如生物樣品，也只要把它表面在真空中蒸涂一層導電金屬膜，或經過脫水處理后即可觀察。徠卡體視倒置顯微鏡由于電子探針打在樣品上，不僅激發出二次電子和背散射電子，還會激發出x光、陰極熒光等，所以徠卡體視倒置顯微鏡配合x光微區分析器及電子衍射附件等，可以觀察樣品表面的同時，逐點分析其化學成分及晶體結構，成為一種高速的綜合分析工具。所以，徠卡體視倒置顯微鏡的應用范周遠運超出了一般的顯微鏡，是現代工農業及科學技術發展中的一種重要的工具。徠卡體視倒置顯微鏡精細的微型電路中的線條邊緣清晰度，已經超出光學顯微鏡的分辨能力。檢查制造工藝流程和發展新工藝具有重要的意義。

由于徠卡體視倒置顯微鏡在各個領域得到極其廣泛的應用，目前國際上顯微鏡發展極為迅速。近幾年來的發展方向主要有以下幾個方面：

（1）徠卡體視倒置顯微鏡主要部件性能的改進，以提高儀器的分辨本領和分析水平。

（2）增加探測器附件，改進儀器使用條化，充分利用更多的信息，擴大應用范圍。

（3）使用方便，穩定可靠，操作自動化。