天津大學微納制造實驗室在納米加工領域取得新進展

　　超精密納米制造技術體現了一個國家制造業的綜合實力。近年來，納米機械加工由于具有效率高、可靠性好、成本低等特點，被認為是最有發展潛力的納米精度制造方法之一。但由于材料去除是在納米尺度，傳統加工理論不再完全適用，發展受到了限制。

　　近日，國際生產工程科學院(International Academy for Production Engineering - CIRP)公布了于2012年8月開展的歷時一年的國際精密制造技術比對結果。其微工程工作委員會(Micro Engineering Working Group)對通過初選的11個研究小組提出了具體的比對樣件及指標，各研究小組完成指定的樣件制備后，隱去樣件來源信息，由德國物理技術研究院會同愛爾蘭根大學進行測量和評估。最終，僅有兩個研究小組加工試件滿足全部5項評價指標，天津大學微納制造實驗室房豐洲教授研究小組位列其一。

　　房豐洲領導的研究小組長期從事微納米加工、復雜形面加工、超精密加工與檢測的基礎理論研究及新方法的探索。他們深入研究了材料納米級去除表面的形成機理，揭示了材料在納米尺度切削過程的推擠去除機制，在國際上首次通過切削技術獲得粗糙度為1nm的單晶硅表面。研究小組提出的粒子注入輔助納米加工(Nanometric machining of ion implanted materials—NiIM)方法，通過粒子注入輔助方式改變被加工材料表層的可加工性能，實現硬脆材料平面及復雜形面的高效切削加工，解決了以往硬脆材料無法采用切削技術制造光學自由曲面的難題(CIPR Annals,2011,Vol.60/1, pp 527-530)。CIRP精密工程委員會原主席威克曼教授認為， NiIM方法是復雜形面納米精度加工中最具發展前景的新方法。

　　基于微納制造領域的深入研究與貢獻，今年在哥本哈根舉行的第63屆CIRP大會上，房豐洲受邀做了題為“光學自由曲面制造與檢測”的會議主題報告(Keynote paper)。這是自CIRP成立以來，國內學者第一次以第一作者身份發表主題報告。CIRP的主題報告是制造領域最權威的學術文獻之一，對相關領域的研究具有重要的指導意義。

　　相關研究得到國家自然科學基金重大研究計劃“納米制造的基礎研究”重點支持項目(項目資助號：90923038)等的資助。