工藝設備
去離子水是通過離子交換樹脂除去水中的離子態雜質而得到的近于純凈的水，其生產裝置設計的合理與否直接關系到去離子水質量的好壞及運營的經濟性。[1]
去離子水制取工藝及其特點
1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）
2、反滲透-離子交換設備制取去離子水，水質穩定，純度較高，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）
3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：環保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴。）
處理步驟
從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質。
2、然后高壓通過反滲透膜。
3、最后一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物。
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。
相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。