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  • 發布時間:2021-05-20 20:07 原文鏈接: 冷熱場發射掃描電鏡的區別是什么?

    場發射分熱場和冷場,共性是分辨率高。熱場的束流大些,適合進行分析,但維護成本相對較高,維護要求高。冷場做表面形貌觀測是適合的,相對而言維護成本低些,維護要求不算高。冷場發射電子槍優點:單色性好,分辨率高缺點:電子槍束流不穩定,束流小,不適合做能譜分析,每天要做一次Flash熱場發射電子槍優點:電子束穩定,束流大缺點:與冷場相比除了單色性和分辨率略差點外,其它找不出缺點。熱場在總發射電流(Total emission current)、zui大探針電流(Maximum probe current)、電子束噪聲(Beam noise)、發射電流漂移(Emission current drift)、工作真空(Operating vacuum)、陰極還原(Cathode regeneration)、對外部影響的敏感性(Sensitivity to external influence)等方面都具有一等的優勢。這些參數直接影響電鏡的性能。在陰極半徑(Cathode radius)、有效電子源半徑(Effective source radius)、發射電流密度(Emission current density)、標準亮度(Normalised brightness)等方面,冷場發射略勝*。這幾個參數總起來說就是冷場發射陰極的發射面積較小、能量集中,便于將電子束聚焦于一個很小的點,以提高分辨率。但是在現代的電鏡技術條件下,熱場發射電鏡通過采取各種有效措施,也能夠將電子束匯聚于一個理想的點,達到冷場發射電鏡的分辨率水平。熱場發射電鏡主要的一個缺點是燈絲(陰極)壽命較短,給定壽命2000小時,實際可用3年左右。而冷場發射陰極壽命相對較長,且更換費用較低。




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