關于紫外光電子能譜的紫外光源和電子能量分析器介紹

　　紫外光電子能譜儀包括以下幾個主要部分：單色紫外光源(hν = 21.2 1eV)、電子能量分析器、真空系統、濺射離子槍源或電子源、樣品室、信息放大、記錄和數據處理系統。

　　1、紫外光源

　　紫外光電子能譜的激發源常用稀有氣體的共振線如He I、He II。它的單色性好，分辨率高。可用于分析樣品外殼層軌道結構、能帶結構、空態分布和表面態，以及離子的振動結構、自旋分裂等方面的信息。

　　2、電子能量分析器

　　電子能量分析器其作用是探測樣品發射出來的不同能量電子的相對強度。它必須在高真空條件下工作即壓力要低于10-3 Pa，以便盡量減少電子與分析器中殘余氣體分子碰撞的幾率。它可以分為磁場式分析器和靜電式分析器，而靜電式分析器又可以分為半球型電子能量分析器和筒鏡式電子能量分析器（CMA）。

　　3、半球型電子能量分析器

　　半球型電子能量分析器主要是通過改變兩球面間的電位差，使不同能量的電子依次通過分析器，它的分辨率很高，可以較精確的測量電子的能量。